ALD装置とは?菅製作所の小型ALD装置は4種類!それぞれの特徴とおすすめポイントをご紹介!


ALD装置とは

ALD装置はAtomic Layer Deposition Systemの頭文字を取ったもので、原子層堆積装置のことです。 一原子層毎の精密な成膜プロセスで使用します。原子層1層枚の均一なコントロールを行い、高膜質・段差被膜性の高い成膜が可能です。

 

株式会社エレメントでは、サイト管理を承っているお客様について、どういうマーケティングが最も効果的かといった指針を決めるために商品についても徹底的に調査し勉強します。

その過程で…

これはぜひ世の中に広く発信したい!!!

たくさんの方に使って頂きたい!食べて頂きたい!

知る人ぞ知る優れた商品を沢山の方に紹介したい!

 

ということで、お仕事調査隊員が菅製作所様のALD装置をご紹介します!!

菅製作所の小型ALD装置は

・SAL1000
・SAL1000B
・SAL1000G
・SAL3000

の4種類!
特徴とおすすめポイントをご紹介!

 

菅製作所様のALD装置一覧はこちらから
↓↓↓

 

 

SAL1000

ALD装置のエントリーモデル
手軽に1原子層ずつの薄膜をつくれる

おすすめポイント

  • 使いやすさを重視した小型のALD
  • 1種類の膜種を成膜する最低限の構成仕様
  • デモ機によるテスト成膜が可能

本体寸法

W450mm×D450mm×H410mm

 

 

SAL1000B

粉体への全周囲成膜を可能にしたALD
卓上型の研究開発用成膜装置

おすすめポイント

  • 傾斜+回転+振動で粉体へ成膜可能
  • 傾斜角度は水平から45°まで調節可能
  • 実は4インチの基板も成膜もできる

本体寸法

W582mm×D450mm×H410mm

 

 

SAL1000G

ウェハーまたは粉体への成膜が可能
機能と性能を兼ね備えた卓上型ALD

おすすめポイント

  • 真空置換対応のグローブボックス搭載
  • 嫌気性のサンプルや材料に対応
  • オプションで粉体への成膜が可能

本体寸法

W690mm×D590mm×H760mm

 

 

SAL3000

小型で機能充実のALD

おすすめポイント

  • SAL3000標準型から横幅が4割小型化
  • 成膜方向はデポアップかダウンを選択

本体寸法

W835mm×D700mm×H1644mm

 

以上、簡単におすすめポイントをご紹介しました!

こんなかっこいい紹介動画もあります、ご覧ください。

 

菅製作所様のサイトに特徴など詳しく紹介した記事があります。

ぜひご覧ください!

 

 

 

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