SSP1000
小型の卓上型スパッタ装置エントリーモデル、成膜方向を自在に変更可能
スパッタ装置一覧｜お仕事調査隊の調査報告！北海道のすごい企業 菅製作所の製品紹介！
株式会社エレメントでは、サイト管理を承っているお客様について、どういうマーケティングが最も効果的かといった指針を決めるために商品についても徹底的に調査し勉強します。
その過程で…
これはぜひ世の中に広く発信したい！！！
たくさんの方に使って頂きたい！食べて頂きたい！
知る人ぞ知る優れた商品を沢山の方に紹介したい！
ということで、お仕事調査隊員が菅製作所様のスパッタ装置をご紹介！
スパッタ装置とは、プラズマ放電下でイオン化させたArガスを高速でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット原子が対向する基板に付着するスパッタリング現象を利用したPVD方式の薄膜形成装置です。
引用：菅製作所サイト
Arイオンをプラズマ放電下でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット材料が対向する基板に付着するスパッタリング現象を利用した成膜装置です。
また、関連装置として成膜後の膜質改善用途に、アニール装置を紹介します。
SSP2000Plus
2元カソードのスリムタワー、拡張可能型
SSP2500G
グローブボックス搭載の2元カソードモデル、オートマッチャー標準搭載
SSP3000
3元カソード、基板加熱MAX800℃、膜厚分布±3%
SSP3000Plus
3元カソード、基板加熱MAX800℃、膜厚分布±3%、拡張可能型
SAN1000
基板への高温加熱処理(アニール)や不活性ガス導入による熱処理時の圧力コントロールが可能
SAN2000Plus
MAX1000℃の温度制御やRF電源搭載が可能、拡張可能型装置に接続できる
スパッタ装置 調査報告
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