エレメントでは、サイト制作やweb集客のご依頼を頂いたお客様の中に、スパッタ装置という特殊な機器を取り扱う企業様もいらっしゃいます。普段から馴染みのない機器をよく知るためには、日頃から色々な装置に目を向け、学びに繋げることが大事だと思っています。

 

その学びの中で、スパッタ装置には様々な種類や特徴があることがわかり、今回は学びの一環として、日本全国にあるスパッタ装置メーカー様を調べさせて頂きました。

 

では、早速ご紹介していきます！

 

アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社

 

アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社様は「社会のために、新しい技術を生み出してゆく」というコンセプトを掲げるプラズマと化学で薄膜を合成する装置メーカーです。

こちらで扱うスパッタ装置は、周波の独立印可方式を採用した、平行平板型の2周PE-CVD装置となっております。

 

有限会社フリーダム

有限会社フリーダム様では、リチウムスパッタ装置LS-1500というスパッタ装置を扱っております。こちらの装置ではリチウム金属をスパッタ成膜でき、全固体電池の陰極の成膜に最適です。またワンタッチでターゲット交換ができるため作業が容易であり、水分や酸素との反応性が高い材料の真空成膜が可能です。

 

株式会社ヤシマ

スパッタリングを超えたCVDlikeの新しい成膜方式である「ナチュラトロンスパッタ装置」対向ターゲットスパッタ方式を基本技術に、ターゲット面の均一なプラズマ分布を実現し、膜均一性・アーク放電の抑制・ターゲットの利用効率化を可能にした大面積基板・量産対応型成膜方式です。

 

いちよしエンジ株式会社

こちらの会社様では、装置機械設計・改造、部品設計・施工、装置電気設計、シーケンスプログラム設計・施工など様々な真空技術を持ち合わせております。多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された真空チャンバ設計システムです。

 

PVR

PVR様は、真空技術機器のコンサルティングのプロフェッショナルとして、PLD、スパッタ装置等、真空機器の設計、製造、改造などを中心に事業を展開している会社です。主な製品としてPLD装置「単元スパッタ装置」、「多元スパッタ装置」や「スパッタガン」などを取り扱っております。

 

まとめ

 

同じスパッタ装置でも、それぞれの企業様が得意としている分野は同じではなく、色々な方法や特色があり、とても勉強になりました。

 

普段聞き慣れないスパッタ装置ですが、私たちの生活を支える製品にもスパッタ装置が使われているので意外と身近な存在なのかもしれませんね！

 

引き続きスパッタ装置について学んで行きたいと思います。

 

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