スパッタリング装置は、高融点の金属や合金の成膜が可能なため用途が広い特徴があり、身近なものだと半導体、液晶、プラズマディスプレイなどの薄膜が作製されています。

 

最近では、プラスチックやガラス、フィルムの表面に金属を成膜して導電性を持たせ、透明電極やタッチパネルの配線としても利用されており、スパッタリング装置の用途の幅はさらに広がっています。

 

そんなスパッタ装置ですが、製造している会社はどのような会社なのでしょう。また、ほかにどのようなものを作っているのか・・・

 

株式会社エレメントでは、スパッタ装置製造会社のwebマーケティング業務を承っております。その一環で、スパッタ装置を取り扱う企業をリサーチしました。

 

そこで今回、スパッタ装置を作っているメーカーさんのご紹介と会社ごとにスパッタ装置以外の製品をピックアップしました。

僭越ながら最後にクライアントである「株式会社菅製作所」をご紹介をさせていただいてます。

 

１）パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社

https://www.panasonic.com/jp/company/ppe.html

 

【会社概要】

パナソニックグループの生産設備のメカ設計、ソフト開発や部品加工・製造・立上支援、メンテナンス・サービス、さらにはモノづくりの課題解決に向けたエンジニアリングからシステム開発までを手がけている会社です。

 

【スパッタ装置】

多層膜スパッタリング装置 S600

https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/jigyo/prod_02_04.html

 

その他にも、多層膜スパッタリング装置S800、小型スパッタリング装置を製造しています。

 

【その他製品】

超高精度三次元測定機 UA3P-300

https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/ua3p/specification.html

 

「測定できないモノはつくれない」をポリシーとした、ナノレベル測定機。

スマートフォン・DSC・DVDやBlu-rayなどのデジタル家電、ホームセキュリティ、光通信、車載用HUDに欠かせない非球面レンズや自由曲面ミラー及びその金型を、最高0.01μmの精度で測定を実現。

 

２）芝浦メカトロニクス株式会社

https://www.shibaura.co.jp/index.html

 

【会社概要】

フラットパネルディスプレイ、半導体、電子部品、光学薄膜などの用途向けに製造装置の開発からサービスまでトータルソリューションを提供する会社です。

【スパッタ装置】

https://www.shibaura.co.jp/products/vacuum/vac_02.html

 

コンパクトで操作が簡単、豊富なオプションを揃えたロードロック式タイプとバッチ式タイプ。研究開発から多品種生産、少量生産まで様々な成膜用途に使用可能。

ほかにも、光学部品用、自動車部品用などのスパッタ装置があります。

 

【その他製品】

枚葉式リン酸エッチング装置

https://www.shibaura.co.jp/products/semicon/spe_01.html

 

半導体ウェーハの製造工程で、窒化膜の高精度なエッチングを行い、その後欠陥の原因となるゴミや汚れを各種薬液と物理洗浄ツールを用いて除去する装置です。

 

３）株式会社ヤシマ

http://www.e-yashima.com/index.html

 

【会社概要】

真空技術を核とした研究開発・生産設備の企画・製造。従来の対向ターゲット式スパッタ方式ではなしえなかったアーク放電対策を可能にし、上記の条件を満たすナチュラトロンスパッタ装置を製作販売している会社です。

【スパッタ装置】

ナチュラトロンスパッタ装置

http://www.e-yashima.com/newpage2.html

30年以上も前に開発されたスパッタ方式。現在も進化しています。特徴としてMO膜の高速スパッタ、低温・プラズマダメージフリー、パラメータの高い独立制御性などがあります。

このほかにマグネトロンスパッタ装置があります。

 

【その他製品】

イオンビーム照射エネルギー測定装置

http://www.e-yashima.com/shinkukiko.html

加速器のイオンビーム強度と位置をスキャニング方式でプロファイルする装置です。

４）バキュームプロダクツ株式会社

http://www.vac-p.co.jp/index.html

 

【会社概要】

真空システム、真空コンポーネントの設計・製造。真空システムは成膜装置（PLD、スパッタ、CVD、多元蒸着装置など）、加速器周辺機器（レンズ、デフレクター、ゴニオメーターなど）や低速陽電子ビーム装置などの研究分野から、産業分野では成膜装置の「大面積化」をテーマに各種処理装置を開発し商品化している会社です。

【スパッタ装置】

ＶＰＳＤ－６０００

http://www.vac-p.co.jp/Catalog/VP01-04-2_VPSD-6000.html

省スペース型大面積スパッタ装置。φ2″ターゲットで大口径ウエハーφ12″まで対応。基板は赤外加熱(又はSiCヒーター加熱)と800℃以上の均一な加熱温度が得られます。

基板回転移動機構或いはターゲット移動機構によりマルチターゲット対応が可能。成膜方法に独自の手法を採用。φ6″以上の基板に±1.5％以内の均一な成膜ができます。

 

【その他製品】

防振型5軸マニピュレーター　ＶＢＭ１５２

http://www.vac-p.co.jp/Catalog/VP03-03-2_VBM.html

オールメタル製により≦200℃のベークが可能。駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

 

５）神港精機株式会社

http://www.shinko-seiki.com/

 

【会社概要】

技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において革新的な製品を送り出しています。

近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいる会社です。

 

【スパッタ装置】

超高真空スパッタリング装置

http://www.shinko-seiki.com/products/215/

スパッタ室にて 10⁻⁷Pa のバックグランドの排気性能を持つ超高真空対応の牧葉式スパッタリング装置。ロードロック室・カセット室・搬送室・スパッタ室の全６室より構成され、超高真空中での多層成膜・一環処理が可能です。磁気デバイスや化合物などの開発に極めて有効です。

 

【その他製品】

ドライ真空ポンプ（スクリュー式）SST/SSXシリーズ

http://www.shinko-seiki.com/products/100/

独自開発のスクリューローターとメンテナンス性を追求した機械構成、選択可能なアクセサリーにより、ドライポンプで は不向きとされていた凝固性ガス、粉体、生成物の吸引を含むハードプロセスにおいても安定した性能とメンテナンスサイクルの長期化を実現。

 

６）株式会社真空デバイス

https://www.shinkuu.co.jp/

 

【会社概要】

半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っている会社です。

【スパッタ装置】

MSP-mini

https://www.shinkuu.co.jp/sputtering-device/

超小型スパッタ装置。光学顕微鏡向け、Ａｇ光沢膜の作成、ＳＥＭ、卓上ＳＥＭの前処理に最適です。

このほかに7種類のスパッタ装置を取り扱っています。

 

【その他製品】

オスミウムコーターHPC-1SW

https://www.shinkuu.co.jp/osmium-plasma-cvd/

観察倍率が高いＳＥＭ試料やデリケートな有機材料、複雑な凹凸構造を持つ試料に低抵抗のオスミウム金属（非晶質＆微細粒子）をコーティングし、導電処理を行う装置です。

７）株式会社昭和真空

https://www.showashinku.co.jp/index.html

 

【会社概要】

真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売している会社です。

 

【スパッタ装置】

SPC-4515 LD

https://www.showashinku.co.jp/product/e_SPC-4515LD.html

 

LEDデバイス向けの生産工程に不可欠なパッド電極形成用のロードロックタイプのスパッタリング装置です。従来では難しかった付着強度のある良質な成膜を可能にしました。

 

【その他製品】

水晶デバイス装置　SLS-401T

https://www.showashinku.co.jp/product/SLS-401T.html

SMD水晶振動子を対象とした Au/Sn用 真空加熱封止装置。取出室にてCl測定によるリークチェックが可能。

 

８）誠南工業株式会社

http://www.seinan-ind.co.jp/

 

【会社概要】

超高真空装置の設計製作。真空部品の製作・販売。真空装置の移転・メンテナンスを行っている会社です。

 

【スパッタ装置】

スパッタリング装置　SE-SP

http://www.seinan-ind.co.jp/service%20-%20supattasouti.html

単結晶の金属酸化膜を作成する為の高真空成膜装置です。  成膜室を大気に暴露することなく試料交換可能なロードロック方式となっております。

ほかに、ICPスパッタ装置、簡易スパッタ装置、マグネトロンスパッタ装置を取り扱っています。

 

【その他製品】

電子線描画装置

http://www.seinan-ind.co.jp/service%20-%20handoutaisseizousouti.html

電子顕微鏡を基本体にしており、観察と微細加工を両立した、電子線描画装置です。

シリコンウェハなど各種ウェハに直接描画をするため、フォトマスクを使わずに微細加工を行います。

 

９）株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

https://www.ulvac.co.jp/index.html

 

【会社概要】

フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供している会社です。

 

【スパッタ装置】

バッチ式スパッタリング装置SV シリーズ

https://www.ulvac.co.jp/products/sputtering_system/batch_type/sv_series/index.html

SVシリーズは縦型のバッチ式スパッタリング装置です。 ディスクスタンパ専用のSV-200と基板を多量に処理可能なカルーセル型があります。

 

【その他製品】

巻取式真空蒸着装置EWEシリーズ

https://www.ulvac.co.jp/products/roll_coater/_ewe/index.html

抵抗加熱方式を用いプラスチックフィルムに、金属を蒸着する巻き取り式成膜装置です。

金糸・銀糸のコーティングから偽造防止のホログラフィックコーティング、さらにはフレキシブル基板コーティングまで対応可能装置。

１０）株式会社菅製作所

https://agus.co.jp/

 

【会社概要】

研究開発用途の真空装置、真空機器と漁船用の船舶用機器、汎用マイコン・汎用メモリへのROM書込みサービス、理化学機器・産業用機械の販売を取り扱っている会社です。

 

【スパッタ装置】

キュービックスパッタ装置SSP1000

https://agus.co.jp/?p=218

 

卓上型RFスパッタのエントリーモデル、納入後でも成膜方向をアレンジ可能。卓上型でもΦ100mm膜厚分布±5%以下で、1台3役、目的に応じて成膜方向が選べます。

 

株式会社菅製作所のスパッタ装置を詳しく知りたい方はこちら

スパッタ装置　製品一覧

 

【その他製品】

放電プラズマ焼結装置SPS2000

https://agus.co.jp/?p=2303

SPS（Spark Plasma Sintering） 焼結法またはPECS(Pulsed Electric Current Sintering) とも呼ばれる高エネルギー密度加工を応用した、高性能・高品質焼結を可能とする新世代の材料合成装置です。

 

まとめ

スパッタ装置を製造している会社は、ほかにもさまざまな機器を作っていますね！

そしてどの会社も、世の中を豊かにするため、常に研究し続けており、新しい製品の開発に取り組んでいます。

 

スパッタ装置は、認知度の高い製品とは言えないかもしれませんが、私たちの暮らしに大きく関わっています。

そんなスパッタ装置を製造する会社のことを、多くの皆さまにご紹介できる機会を作っていければ幸いです。