「スパッタ装置」とは、聞きなれない言葉ですよね。

”スパッタリング”という現象と利用して、物に膜を作り出す装置のことなのですが、

今や、私たちの日常において欠かせない、CD・DVD・液晶ディスプレイなど、これらの製品を生み出すために必要な技術がスパッタなのです。

（詳細は過去の記事をご覧ください）

 

エレメントでは、Webマーケティングから様々な企業様をサポートさせて頂いておりますが、クライアント様の中に、そんなスパッタ装置を製造しているメーカー様もいらっしゃいます！

そこで、今回のお仕事調査隊では、特にスパッタ装置メーカーが多かった東京都の会社を調査いたしました！

本社の住所、または製品の一部も紹介させていただきますので、是非ご覧ください！

 

1.サンユー電子株式会社

http://www.sanyu-electron.co.jp/c/index.php

 

1976年創立。真空応用機器分野、電子顕微鏡関連機器分野の2分野を主軸とし、「コアテクノロジーで研究開発の未来を切り拓く」をモットーに研究開発を行っていらっしゃいます。

●住所

（本社）〒169-0073　東京都新宿区百人町1-22-6

●一部製品紹介

SVC-700RFⅡ：絶縁膜や酸化物薄膜作製用

引用元：http://www.sanyu-electron.co.jp/c/index.php?cID=132

 

2.株式会社サンバック

https://www.sanvac.com/

 

1995年設立。CVD、PVD、スパッタリング等の真空技術、溶解炉、高温熱処理炉、乾燥炉等の熱技術に関して評価の高い真空装置メーカーです。

●住所

（本社）〒135-0002 東京都江東区住吉1-19-1 ツインタワーすみとし住吉館205

（扇橋工場）〒135-0011 東京都江東区扇橋1-21-3

●一部製品紹介

DCスパッタ装置SP-15000D：実験用の小型装置

引用元：https://www.sanvac.com/product/equipment/sputtering/index.html

 

3.バキュームプロダクツ株式会社 

http://www.vac-p.co.jp/

 

1986年設立。真空システム、真空コンポ―ネントの設計・製造を行い、自社オリジナル商品のクリスタル真空計の技術をベースに新しい真空計の開発も進めていらっしゃいます。

●住所

（小平工場）〒187-0012 東京都小平市御幸町16番地2

（宮前工場）〒216-0035 神奈川県川崎市宮前区馬絹6-16-12

●一部製品紹介

ＶＰＳＤ－６０００：省スペース型大面積スパッタ装置

引用元：http://www.vac-p.co.jp/Catalog/VP01-04-2_VPSD-6000.html

 

4.北野精機株式会社

https://www.kitano-seiki.co.jp/

 

1958年設立。真空装置・低温機器をはじめとし、多くの試作研究開発機器の設計・製造・販売を行っていらっしゃいます。

●住所

（本社工場）〒143-0024 東京都大田区中央7-17-3 

●一部製品紹介

マグネトロン・スパッタリング蒸着装置

引用元：https://www.kitano-seiki.co.jp/product/thin/Sputtering.html#product02

 

5.アリオス株式会社

https://www.arios.co.jp/

 

1972年創立。技術開発・研究開発に打ち込む中、創立10年以降、超真空の仕事が増え、現在では、単に真空装置に止まらず、各種のプラズマ、イオンあるいは電子を利用した機能部品の開発を進めていらっしゃいます。

●住所

（本社）〒196-0021　東京都昭島市武蔵野3-2-20

（東海営業所）〒441-1231　愛知県豊川市一宮町宮前149 オーエスジー株式会社内

●一部製品紹介

小型スパッタ装置 SS-DC・RF301

引用元:https://www.arios.co.jp/products/ss-dc.html

 

6.テルモセラ・ジャパン株式会社

http://www.thermocera.com/

 

半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行っていらっしゃいます。

●住所

（本社）〒103-0027 東京都中央区日本橋3丁目2番14号 新槇町ビル別館第一 2階

●一部製品紹介

nanoPVD-S10A：卓上型 RF/DCマグネトロンスパッタリング装置

引用元：http://www.thermocera.com/products/nanopvds10a.html

 

7.アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社 

https://www.appliedmaterials.com/ja

 

1967年にアメリカのシリコンバレーで誕生した半導体製造装置メーカーの日本法人です。日本国内に10カ所以上に拠点があります。

●住所

（本社）〒108-8444 東京都港区海岸3－20－20 ヨコソーレインボータワー 

（川崎オフィス）〒215-0022 神奈川県川崎市麻生区下麻生3－37－7 

（羽田倉庫）〒140-0003 東京都品川区八潮3－2－31 近鉄エクスプレス東京ターミナル 

（北上サービスセンター）〒024-0063 岩手県北上市九年橋3－10－1 

（姫路サービスセンター）〒672-8021 兵庫県姫路市白浜町宇佐崎中1－186 

（堺サービスセンター）〒590-0907 大阪府堺市堺区緑町1－2 

（茂原サービスセンター）〒297-0035 千葉県茂原市下永吉1279 

（熊本サービスセンター）〒861-2202 熊本県上益城郡益城町田原1155－12 テクノ・ラボラトリビル 

（大分サービスセンター）〒870-0026 大分県大分市金池町2－6－15 EME大分駅前ビル 

（京都サービスセンター）〒600-8223 京都府京都市下京区七条通り油小路東入ル大黒町227 第2キョートビル

（四日市サービスセンター）〒510-0075 三重県四日市市安島2－10－16 ミッドビルディング四日市 

（大阪支店）〒530-0001 大阪府大阪市北区梅田1－11－4 大阪駅前第4ビル 

（庄内サービスセンター）〒997-0031 山形県鶴岡市錦町2－68 鶴岡SSビル 

（名古屋サービスセンター）〒460-0011 愛知県名古屋市中区大須4－1－70 TKHビル

（広島サービスセンター）〒739-0006 広島県東広島市西条上市町5－5 総合不動産ビル 

（西東京サービスセンター）〒192-0081 東京都八王子市横山町25－6 ザイマックス八王子ビル 

（那珂サービスセンター）〒312-0052 茨城県ひたちなか市大字東石川3-21-8  東功ビル 

（北陸サービスセンター）〒937-0067 富山県魚津市釈迦堂1－12－10 M1ビル

●一部製品紹介

AKT® NEW ARISTO™ CF：完全に自動化された縦型インライン スパッタリング 装置

引用元：https://www.appliedmaterials.com/ja/products/akt-new-aristo-cf

 

8.東京エレクトロン株式会社

https://www.tel.co.jp/

 

1963年設立。半導体製造装置およびフラットパネルディスプレイ製造装置を開発・製造・販売されています。

 

●住所

（本社）〒107-6325東京都港区赤坂5-3-1 赤坂Bizタワー

（事業所府中テクノロジーセンター）〒183-8705 東京都府中市住吉町2-30-7

（支社大阪）〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原3-4-30 ニッセイ新大阪ビル

（ニッセイ新大阪ビル18F）

（事業所山梨 (藤井)）〒407-8511 山梨県韮崎市藤井町北下条2381-1

（事業所山梨 (穂坂)）〒407-0192 山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢650

（事業所TEL デジタル デザイン スクエア）

〒060-0003 札幌市中央区北3条西3丁目1 大同生命札幌ビル10階

（支社 九州）〒861-1116 熊本県合志市福原1-1

●一部製品紹介

EXIM™：次世代半導体向けスパッタリング装置

引用元：https://www.tel.co.jp/product/exim.html

 

◆まとめ

東京都内だけでも、これだけたくさんのスパッタ装置メーカーさんがいらっしゃいました！

当たり前のように利用していた液晶ディスプレイなどの商品を生み出す背景には、研究者の皆様の並々ならぬ努力があることが垣間見えますね。

（※各々の情報は変更されている可能性がありますので、ご利用の際は必ずサイト先で最新情報をご確認ください）

今回調査のきっかけになった北海道のスパッタ装置製造メーカー菅製作所様でも、用途に合わせて様々なスパッタ装置を開発されています！

また、コラムで、開発されている機械のことだけではなく、その機会の原理、真空の話もたくさん掲載されています。

【知ってるようで知らない？真空ならではの特徴４つ】　【真空がもたらしたペットボトルの奇跡！お茶・ワイン・炭酸飲料が手軽に飲めるのは炭素に秘密が！】などは読みごたえありました！

研究内容などについて、素人でも楽しく読めるコラムも用意されておりますので、是非こちらもご覧くださいませ！

以上、お仕事調査隊でした！