【Ar】アルゴンって何？子供にもわかるように徹底解説！
スパッタ装置とは？菅製作所の小型スパッタ装置は卓上に置けるのに大きな装置に負けない性能なんです！
目次
スパッタ装置（スパッタリング装置）とは
スパッタリングはいわゆる「乾式めっき法」(真空めっき)に分類され、コーティングする対象物を液体や高温気体にさらす事なくめっき処理が出来ることが特徴である。
真空チャンバー内に薄膜としてつけたい金属をターゲットとして設置し、高電圧をかけてイオン化させた希ガス元素（普通はアルゴンを用いる）や窒素（普通は空気由来）を衝突させる。するとターゲット表面の原子がはじき飛ばされ、基板に到達して製膜することが出来る。 原理も単純であり「スパッタ装置」として各種あることから、様々な技術分野で広く使われている。 最近では、高品質の薄膜が要求される半導体、液晶、プラズマディスプレイ、光ディスク用の薄膜を製造する手法として用いられている。
引用：Wikipedia
スパッタ装置とは、プラズマ放電下でイオン化させたArガスを高速でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット原子が対向する基板に付着するスパッタリング現象を利用したPVD方式の薄膜形成装置です。
引用：菅製作所サイト
株式会社エレメントでは、サイト管理を承っているお客様について、どういうマーケティングが最も効果的かといった指針を決めるために商品についても徹底的に調査し勉強します。
その過程で…
これはぜひ世の中に広く発信したい！！！
たくさんの方に使って頂きたい！食べて頂きたい！
知る人ぞ知る優れた商品を沢山の方に紹介したい！
ということで、お仕事調査隊員が菅製作所様のスパッタ装置をご紹介！
今回は菅製作所様が世界に誇る、小型スパッタ装置SSP1000を詳しくご紹介します。
スパッタ装置は、先にご説明した通り、半導体、液晶、プラズマディスプレイ、光ディスク用の薄膜を製造する手法として用いられています。製品を作るためには大きな工場に機械を置くことが出来ますが、工場の他に大学や企業の研究所に置かれることがあります。
狭い研究所に大きなスパッタ装置を置くことは出来ない…
けど、高性能なスパッタ装置が必要！
そこで重宝されるのが、小型のスパッタ装置です。
製造メーカー各社様、小型のスパッタ装置を取り扱っていらっしゃいますが、もちろん菅製作所からも販売しております！
菅製作所キュービックスパッタ装置 SSP1000
SSP1000のおすすめポイント
１．卓上型でも大きな装置に引けをとらない性能でΦ100㎜膜厚分布±5%以下が実現可能。
２．目的に応じて成膜方向を選ぶことが出来、一台で３役をこなします。
３．装置のセットアップがユーザー様で可能。
４．豊富なオプションで思い通りにアレンジ可能。
５．安心の保守サービス。装置の導入後も安心してご使用頂けるよう万全の体制を整えております。
操作風景
製品だけの画像では、どのくらいの大きさか想像が出来ないため、実際に卓上に載せた場合の操作風景をご覧ください。
このくらいコンパクトであれば、狭い研究室でも場所を取りませんよね。
SSP1000紹介動画
小型スパッタ装置は安価で手軽に使えるので入門用としても最適です。
次の動画は、そのような方向けの紹介動画となっております。
菅製作所様のサイトに特徴など詳しく紹介した記事があります。
ぜひご覧ください！
小型スパッタ装置なら狭い研究所でも設置可能！配置変更も出来る卓上型のオススメポイントをご紹介。小さいのに、すごいんです。
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関連サイト・記事
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